一、G641TC氣動搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例的工作原理
氣動隔膜閥主要由閥體、閥板、膜片和傳動機(jī)構(gòu)組成。當(dāng)空氣壓力作用于膜片時,膜片會產(chǎn)生變形,從而帶動閥板運(yùn)動,實(shí)現(xiàn)開關(guān)動作。氣動隔膜閥的驅(qū)動方式有氣開式和氣關(guān)式兩種,可以根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行選擇。由閥體、閥桿、絲母、閥頭、隔膜,瓷釉層、手輪等組成,隔膜采用F46材和橡膠墊制成。此閥能耐各種濃度酸、堿、鹽類、及有機(jī)物料的輸送,此閥除磷酸及磷性介質(zhì)、qing氟酸、鹽酸、氫氧化鈉、氫氧化鉀外,能耐各種酸堿鹽溶液及有機(jī)溶劑。搪瓷法蘭隔膜閥是將含硅量高的瓷釉涂于金屬表面,通過950℃搪燒,使瓷釉密著于金屬鐵胎表面制成。因此,它具有類似玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性和金屬強(qiáng)度的雙重優(yōu)點(diǎn),是一種優(yōu)良的耐腐蝕設(shè)備元件。隔膜閥是用閥腔內(nèi)的膜片作啟閉件封閉流道、截?cái)嗔黧w、并將閥體內(nèi)腔和閥蓋內(nèi)腔隔開的截止閥。膜片常用橡膠、塑料等彈性、耐腐蝕、非滲透性材料制成。
閥體多用金屬襯里、無襯里或塑料制成。 結(jié)構(gòu)簡單、密封和防腐性能好,流體阻力小。用于常壓、常溫、腐蝕性較強(qiáng)和含懸浮物質(zhì)的介質(zhì)。隔膜閥可分為手動搪瓷法蘭隔膜閥、氣動搪瓷法蘭隔膜閥、電動搪瓷法蘭隔膜閥。是一種利用空氣動力來驅(qū)動的開關(guān),具有快速、安全、可靠、易于維護(hù)等優(yōu)點(diǎn),在半導(dǎo)體行業(yè)中被廣泛應(yīng)用于各種工藝氣體、液體、真空等管路中。本文將詳細(xì)介紹氣動隔膜閥的工作原理、特點(diǎn)及在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用。
二、G641TC氣動搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例氣動隔膜閥的特點(diǎn)
1. 結(jié)構(gòu)簡單:氣動隔膜閥的結(jié)構(gòu)緊湊,體積小,易于安裝和維護(hù)。
2. 密封性好:膜片與閥板之間的密封采用軟密封結(jié)構(gòu),密封性能好,能夠有效地防止氣體和液體泄漏。
3. 動作靈敏:氣動隔膜閥的驅(qū)動機(jī)構(gòu)采用氣動方式,動作靈敏,可以實(shí)現(xiàn)快速開關(guān)。
4. 適用范圍廣:氣動隔膜閥適用于各種工藝氣體、液體、真空等管路中,具有廣泛的應(yīng)用范圍。
5. 安全性高:氣動隔膜閥采用膜片作為密封件,能夠有效地避免物料卡死或粘結(jié)現(xiàn)象,提高了設(shè)備的安全性。
6. 維護(hù)方便:氣動隔膜閥的維護(hù)非常方便,只需要定期清洗和更換膜片即可。
G641TC氣動搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例特點(diǎn):
(1)流體阻力小。
(2)能用于含硬質(zhì)懸浮物的介質(zhì);由于介質(zhì)只與閥體和隔膜接觸,所以無需填料函,不存在填料函泄漏問題,對閥桿部分無腐蝕可能。
(3)適用于有腐蝕性、粘性、漿液介質(zhì)。
(4)不能用于壓力較高的場合。
G641TC氣動搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例技術(shù)規(guī)范:
1、耐酸性:
對各種有機(jī)酸、無機(jī)酸、有機(jī)溶劑均有較好的抗蝕性。搪玻璃試樣置于20%HCI溶液中煮沸48h,腐蝕速率為0.9lg/m2.d(優(yōu)等品指標(biāo)為1.0g/m2.d)。
2、耐堿性:
搪玻璃對堿性溶液抗蝕性較酸溶液差。搪玻璃試樣置于1N氫氧化鈉溶液腐蝕,試驗(yàn)溫度80℃時間24h。腐蝕速率為6.76g/m2.d(優(yōu)等品指標(biāo)為7.0g/m2.d)。
3、操作溫度:
搪玻璃設(shè)備加熱和冷卻時,應(yīng)緩慢進(jìn)行。搪玻璃設(shè)備使用溫度為0-200℃,耐溫急變性≥200℃。
4、瓷層厚度:
玻璃設(shè)備的瓷層厚度0.8-2.0mm,搪玻璃設(shè)備附件的瓷層厚度0.6-1.8mm。
5、耐壓電:
搪玻璃具有良好的絕緣性,當(dāng)搪玻璃在規(guī)定厚度內(nèi)用20KV高頻電火花檢查瓷層時,高頻電火花不能擊穿瓷層。
6、耐沖擊性:
玻璃層的內(nèi)應(yīng)力越小,彈性越好,硬度越大,抗彎抗壓強(qiáng)度越高,則耐沖擊就越好。玻璃層在規(guī)定厚度內(nèi),用直徑30mm,重量112g鋼球沖擊時,其沖擊功為272×10-3J(優(yōu)等品指標(biāo)為260×10-3J)。
三、G641TC氣動搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用
在半導(dǎo)體行業(yè)中,氣動隔膜閥被廣泛應(yīng)用于各種工藝氣體、液體、真空等管路中,以下是幾個典型的應(yīng)用場景:搪玻璃閥門及管件廣泛適用于化工、醫(yī)藥、染料、農(nóng)藥、有機(jī)合成、石油、食品制造和國防工業(yè)等工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中的反應(yīng)、蒸發(fā)、濃縮、合成、萃取、聚合、皂化、礦化、氯化、硝化等,以代替昂貴的不銹鋼和有色金屬。
1. 工藝氣體管路:在半導(dǎo)體制造過程中,需要使用各種工藝氣體,如氮?dú)?、氧氣、氫氣等。氣動隔膜閥能夠快速、準(zhǔn)確地控制這些氣體的流量和壓力,為生產(chǎn)提供穩(wěn)定的工藝環(huán)境。
2. 液體管路:在半導(dǎo)體制造中,各種化學(xué)試劑和超純水需要通過管道進(jìn)行輸送。氣動隔膜閥可以控制液體的流量和壓力,確保輸送過程的穩(wěn)定性和安全性。
3. 真空管路:半導(dǎo)體制造過程中需要進(jìn)行真空處理,如薄膜沉積、干法刻蝕等。氣動隔膜閥可以在真空系統(tǒng)中起到開關(guān)和調(diào)節(jié)作用,保證設(shè)備的正常運(yùn)行。
4. 尾氣處理系統(tǒng):在半導(dǎo)體制造過程中會產(chǎn)生各種廢氣,如酸氣、有機(jī)廢氣等。氣動隔膜閥可以控制尾氣處理系統(tǒng)的閥門開關(guān),實(shí)現(xiàn)廢氣的收集和處理。
5. 晶圓傳送系統(tǒng):半導(dǎo)體制造中的晶圓需要經(jīng)過多個工藝步驟之間的傳遞。氣動隔膜閥可以控制晶圓傳送系統(tǒng)的氣體管道,確保晶圓在傳送過程中的穩(wěn)定性和清潔度。
G641TC氣動搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例主要性能規(guī)范
性能規(guī)范Specification | 設(shè)計(jì)規(guī)范Design standard | 結(jié)構(gòu)長度 Structure length | 連接法蘭 connect flange | 試驗(yàn)與檢驗(yàn)Experiment & inspection |
GB/T 12239 | GB/T 12221 | JB/T; JB/T79 | GB/T 13927 |
主要零件材料
零件名詞 Name | 灰鑄鐵Gray Cast iron | 鑄鋼 cast steel |
閥體 Body | HT250+搪瓷HT250+enamel | WCB+搪瓷 WCB+ enamel |
閥瓣/閥桿 Disc/stem | 35 | 1Cr13 |
隔膜 diaphragm | PEP(F46)/CR(氯丁橡膠) |
G641TC氣動搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例主要連接及外形尺寸:
公稱通徑DN | 主要連接尺寸及外形尺寸 | 孔數(shù)Z | 孔徑b | ||||||
L | D | D1 | D2 | H | b1 | D0 | |||
25 | 145 | 115 | 85 | 65 | 121 | 16 | 120 | 4 | 14 |
32 | 160 | 135 | 100 | 75 | 130 | 16 | 125 | 4 | 14 |
40 | 180 | 145 | 110 | 85 | 165 | 18 | 140 | 4 | 18 |
50 | 210 | 160 | 125 | 100 | 230 | 20 | 160 | 4 | 18 |
65 | 250 | 180 | 145 | 120 | 240 | 20 | 200 | 4 | 18 |
80 | 300 | 195 | 160 | 135 | 256 | 22 | 200 | 4 | 18 |
100 | 350 | 215 | 180 | 155 | 285 | 22 | 240 | 8 | 18 |
125 | 400 | 245 | 210 | 185 | 320 | 23 | 280 | 8 | 18 |
150 | 460 | 280 | 240 | 210 | 464 | 24 | 320 | 8 | 23 |
G641TC氣動搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例技術(shù)參數(shù):
設(shè)計(jì)與制造:GB12239
結(jié)構(gòu)長度:GB12221、JB1688
法蘭連接尺寸:GB4216、JB78
本閥于工作溫度≤100℃的般腐蝕性介質(zhì)管路上作啟閉用。
搪瓷表面十分光滑和具有隔離金屬離子的特性
具有良好的耐磨性與電絕緣性
G641TC氣動搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例襯里材料和適用介質(zhì):
襯里材料(代號) | 使用溫度(℃) | 適用介質(zhì) |
硬橡膠(NR) | -10~85 | 鹽酸、30%硫酸、50%qing氟酸、80%磷酸、堿、鹽類、鍍金屬溶液、氫氧化鈉、氫氧化鉀、中性鹽水溶液、10%次氯酸鈉、溫lǜ氣、氨氣、大部分醇類有機(jī)酸及醛類等 |
軟橡膠(BR) | -10~85 | 水泥、粘土、煤渣灰、顆粒狀化肥及磨損性較強(qiáng)的固態(tài)流體、各種濃度稠粘液等 |
氟橡膠(CR) | -10~85 | 動植物油類、潤滑劑及PH值變化范圍很大的腐蝕性泥漿等 |
丁基膠(HR) | -10~120 | 有機(jī)酸、堿和氫氧化合物、無機(jī)鹽及無機(jī)酸、元素氣體醇類、醛類、醚類、酮類等 |
聚偏氟乙丙烯塑料 (FEP) | ≤150 | 除熔融堿金屬、元素氟及芳香烴類外的鹽酸、硫酸、王水、有機(jī)酸、強(qiáng)氧化劑、濃稀酸交替、酸堿交替和各種有機(jī)溶劑等 |
聚偏氟乙烯塑料 (PVDF) | ≤100 | |
聚四氟乙烯和乙烯共聚物 (ETFE) | ≤120 | |
可熔性聚四氟乙烯塑料 (PFA) | ≤180 | |
聚三氟氯乙烯塑料 (PCTFE) | ≤120 | |
搪瓷 | ≤100 切忌溫差急變 | 除qing氟酸、濃磷酸及強(qiáng)堿外的其它低度腐蝕性介質(zhì) |
鑄鐵無襯里 | 使用溫度按隔膜閥 材料定 | 非腐蝕性介質(zhì) |
不銹鋼無襯里 | 一般腐蝕性介質(zhì) |
G641TC氣動搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例安裝注意事項(xiàng):
1、搬運(yùn):在搬運(yùn)時切記勿碰撞勿拋扔;
2、安裝:在安裝的過程中不得借用其它撬桿或錘子,避免震動或碰撞損壞搪瓷部位;
3、安裝前對閥門或管件的內(nèi)腔進(jìn)行檢查避免臟污卡死閥門影響正常使用,或損壞介質(zhì)。
G641TC氣動搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例維護(hù)保養(yǎng):
1、閥門及管件在未安裝情況下需存放在干燥、通風(fēng)地方,避免暴曬和潮濕,經(jīng)常不安裝的需要對閥門清潔保養(yǎng);
2、安裝在管道或設(shè)備上之后,應(yīng)檢查填料函的螺栓是否松動,有螺桿的閥門應(yīng)對螺桿部位作潤滑處理;
3、對于安裝在室外的設(shè)備應(yīng)做好防水、防潮、防碰撞的準(zhǔn)備工作(特別對于裝有電氣裝置的設(shè)備)。
四、G641TC氣動搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例總結(jié)
氣動隔膜閥作為一種快速、安全、可靠、易于維護(hù)的開關(guān)設(shè)備,在半導(dǎo)體行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。它具有結(jié)構(gòu)簡單、密封性好、動作靈敏、適用范圍廣、安全性高和維護(hù)方便等特點(diǎn),為半導(dǎo)體制造過程中的工藝控制和設(shè)備安全提供了有力保障。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展,氣動隔膜閥在未來仍將具有廣泛的應(yīng)用前景。